下载湿度传感器及制备方法的技术资料

文档序号:36083432

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本发明提供一种湿度传感器及制备方法,其中的湿度传感器包括位于底部的信号处理单元、设置在信号处理单元上的感应单元、设置在感应单元上的栅极,设置在栅极上的绝缘层、设置在绝缘层上的石墨烯量子点层和设置在石墨烯量子点层上的漏极和源极,其中,石墨烯量...
该专利属于青岛歌尔智能传感器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛歌尔智能传感器有限公司授权不得商用。

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