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本发明涉及磁控溅射离子镀技术领域，且公开了一种带有缝隙谐振天线结构的磁控溅射离子镀装置，包括底座，所述底座顶部固定连接有真空炉体，所述真空炉体顶部设置有功能机构，所述功能机构左侧固定连接有过滤机构，所述底座左侧固定连接有移动机构。该带有缝隙...
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