温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种用于制备外延片的转盘式反应器、制备方法及用途，包括壳体，壳体内设置有转盘和位于转盘上方的喷淋装置，转盘的底面设置有转筒，转筒的一端敞口边缘与转盘的底面边缘对接，转筒用于带动转盘旋转；转盘下方设置有加热盘，加热盘覆盖转盘的整个...
该专利属于江苏第三代半导体研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏第三代半导体研究院有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。