下载一种利用离子束加工X射线复合折射透镜的方法的技术资料

文档序号:36077608

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本发明涉及一种利用离子束加工X射线复合折射透镜的方法,包括:根据所需的X射线复合折射透镜的厚度,选择若干基底,并根据基底尺寸和透镜参数制作掩膜;将其中一份基底作为样品,在样品上标记出采样点,并测量出各采样点的第一表面面形;使用离子源轰击采样...
该专利属于中国科学院上海高等研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海高等研究院授权不得商用。

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