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本发明提供一种晶圆吸盘，包括盘体和拼接组件；盘体设置有腔室以及呈镂空的第一吸附面，第一吸附面沿盘体的周向设置有多个限位件；拼接组件设置有第二吸附面，拼接组件活动设置于腔室；其中，在拼接组件处于第一位置时，拼接组件延伸出腔室外，以使得第二吸附...
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