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本发明公开了一种提高压电晶片黑化均匀性的方法、压电晶片及声表面波滤波器,利用喷砂机对切割后的压电晶片进行喷砂处理,消除压电晶片表面的切割线痕,改善因双面研磨制程所带来的压电晶片片内中心和外圈表面粗糙度不一致的影响,可以有效的解决因切割片线痕...该专利属于泉州市三安集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过泉州市三安集成电路有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种提高压电晶片黑化均匀性的方法、压电晶片及声表面波滤波器,利用喷砂机对切割后的压电晶片进行喷砂处理,消除压电晶片表面的切割线痕,改善因双面研磨制程所带来的压电晶片片内中心和外圈表面粗糙度不一致的影响,可以有效的解决因切割片线痕...