下载一种混合波导集成石墨烯中红外全光调制器的技术资料

文档序号:36071775

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本发明公开了一种混合波导集成石墨烯中红外全光调制器。包括蓝宝石衬底,硅波导传输层形成在蓝宝石衬底之上;石墨烯层或者硫系条形波导位于硅波导传输层上,石墨烯层位于硫系条形波导上表面或者下表面;硫系条形波导形成在石墨烯层上;硫系材料层形成在蓝宝石...
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