一种混合波导集成石墨烯中红外全光调制器制造技术

本发明专利技术公开了一种混合波导集成石墨烯中红外全光调制器。包括蓝宝石衬底，硅波导传输层形成在蓝宝石衬底之上；石墨烯层或者硫系条形波导位于硅波导传输层上，石墨烯层位于硫系条形波导上表面或者下表面；硫系条形波导形成在石墨烯层上；硫系材料层形成在蓝宝石衬底或者硅波导传输层上，用于包覆硅波导传输层、石墨烯层、硫系条形波导。本发明专利技术基于中红外低损的蓝宝石

【技术实现步骤摘要】
一种混合波导集成石墨烯中红外全光调制器


[0001]本专利技术属于光通讯
的一种光强调制器件，具体涉及了一种蓝宝石
‑ꢀ
硅
‑
硫系材料
‑
石墨烯体系的混合波导集成中红外全光调制器。

技术介绍

[0002]中红外波段(2
‑
20μm)是极具工程应用价值的一个光学波段。首先其包含 了多数化学分子，生物分子的吸收指纹(7μm
‑
20μm)，可用于化学气体传感， 生物信息传感。其包含大气窗口(3
‑
5μm及8
‑
14μm)，可用于对于热成像，红 外对抗，自由空间通信。其在2μm波段的水吸收性较强，且对于人类组织穿透 性低，可用于风向跟踪以及精准外科手术。其中，自由空间通信为无光纤点对 点双向信息传输的一种技术，在带宽接入，广域网和城域网扩展，局域网互联， 深空通信等有着重要意义和广阔的应用前景。在上述应用中，离不开中红外激 光器、放大器、光开关、光调制器、探测器、波分复用器、功分器等功能器件。 芯片级中红外器件为极大提高中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种混合波导集成石墨烯中红外全光调制器，其特征在于：包括蓝宝石衬底(1)；包括硅波导传输层(2)，形成在蓝宝石衬底(1)之上；包括石墨烯层(3)或者硫系条形波导(4)，位于硅波导传输层(2)上；石墨烯层(3)位于硫系条形波导(4)上表面或者下表面；包括硫系材料层，形成在蓝宝石衬底(1)或者硅波导传输层(2)上，用于包覆硅波导传输层(2)、石墨烯层(3)、硫系条形波导(4)。2.根据权利要求1所述的一种混合波导集成石墨烯中红外全光调制器，其特征在于：设置了一层硅波导传输层(2)、一层石墨烯层(3)和一层硫系条形波导(4)，硅波导传输层(2)整体形成在蓝宝石衬底(1)之上，硫系条形波导(4)位于硅波导传输层(2)的中间上，石墨烯层(3)位于硫系条形波导(4)下表面和硅波导传输层(2)之间；所述的硫系材料层包括硫系盖层(6)，硫系盖层(6)形成硅波导传输层(2)上，包覆石墨烯层(3)、硫系条形波导(4)。3.根据权利要求2所述的一种混合波导集成石墨烯中红外全光调制器，其特征在于：由所述的硅波导传输层(2)与硫系条形波导(4)构成混合脊型波导，TE0模式的光信号从由硅波导传输层(2)和硫系条形波导(4)构成的混合脊型波导中传播，与所述的石墨烯层(3)进行强相互作用。4.根据权利要求1所述的一种混合波导集成石墨烯中红外全光调制器，其特征在于：设置了一层硅波导传输层(2)、一层石墨烯层(3)和一层硫系条形波导(4)，硅波导传输层(2)整体...

【专利技术属性】
技术研发人员：林宏焘，钟础宇，魏茂良，马辉，巨泽朝，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：