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一种用于真空装置的阀包括第一壳体元件和与所述第一壳体元件连接的第二壳体元件，其中，所述第一壳体元件和所述第二壳体元件限定外腔。第一壳体元件作为第一开口，并且第二壳体元件作为第二开口，第二开口与第一开口流体连通，同时与外腔流体连通。所述内腔由...
该专利属于阿特拉斯所有，仅供学习研究参考，未经过阿特拉斯授权不得商用。

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