用于真空装置的阀制造方法及图纸

一种用于真空装置的阀包括第一壳体元件和与所述第一壳体元件连接的第二壳体元件，其中，所述第一壳体元件和所述第二壳体元件限定外腔。第一壳体元件作为第一开口，并且第二壳体元件作为第二开口，第二开口与第一开口流体连通，同时与外腔流体连通。所述内腔由所述第一壳体元件和所述第二壳体元件限定，其中，在所述腔中设置有隔膜，所述隔膜将所述内腔分成第一内腔和第二内腔。密封元件连接到隔膜，其中密封元件可从第一位置移动到第二位置，其中在第一位置中，密封元件以密封的方式封闭第一开口，并且在第二位置中，密封元件打开第一开口以允许气体介质流过阀。口以允许气体介质流过阀。口以允许气体介质流过阀。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于真空装置的阀


[0001]本专利技术涉及一种用于真空装置的阀以及这种真空装置。

技术介绍

[0002]通常，阀设置在真空泵和容器或真空腔室之间。在真空泵的操作停止时，阀关闭以维持真空腔室内的真空，并且其次避免润滑剂被真空从真空泵抽吸到真空腔室中并污染真空腔室。
[0003]已知的阀是蝶形阀。然而，这些阀遭受由蝶形阀中的阀盘的旋转运动导致的密封件的极端磨损。此外，根据现有技术，需要被压缩的空气来控制这种蝶阀。
[0004]此外，大多数已知的回流阀在低入口压力下不完全打开，导致高压降并导致性能下降。

技术实现思路

[0005]因此，本专利技术的目的是提供一种复杂性较低并且不需要控制加压空气的阀。
[0006]上面给出的问题通过根据权利要求1的阀和根据权利要求12的真空装置来解决。
[0007]根据本专利技术的用于真空装置的阀包括第一壳体元件和与第一壳体元件连接的第二壳体元件。第一壳体元件和第二壳体元件限定了外腔。此外，第一壳体元件具有能够连接到真空腔室的第一开口，并且第二壳体元件具有能够连接到真空本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于真空装置的阀，包括：第一壳体元件(12)和与所述第一壳体元件(12)连接的第二壳体元件(14)，其中，由所述第一壳体元件(12)和所述第二壳体元件(14)限定外腔(16)，其中，所述第一壳体元件(12)具有第一开口(18)，并且所述第二壳体元件(14)具有经由所述外腔(16)与所述第一开口(18)流体连通的第二开口(20)，其中，由所述第一壳体元件(12)和所述第二壳体元件(14)限定内腔(22)，其中，隔膜(24)设置在所述内腔(22)中，将所述内腔(22)分成第一内腔(26)和第二内腔(28)，其中，密封元件(30)连接到所述隔膜(24)，其中，所述密封元件(30)能够从第一位置移动到第二位置，其中，在所述第一位置中，所述密封元件(30)以密封的方式封闭所述第一开口(18)，并且在所述第二位置中，所述密封元件打开所述第一开口(18)以允许气体介质流过所述阀。其中，所述内腔(22)至少部分地且优选地完全地被所述外腔(16)包围。2.根据权利要求1所述的阀，其特征在于，所述第二内腔(28)连接到真空，并且所述第一内腔(26)连接到较高压力或大气压力，以将所述密封元件(30)从所述第一位置移动到所述第二位置。3.根据权利要求1或2中任一项所述的阀，其特征在于，第一通道将所述第二内腔(28)连接到低压区域，并且特别地连接到所述第二壳体元件(14)和/或所述外腔(16)。4.根据权利要求3所述的阀，其特征在于，第一三通阀(36)设置在与大气连接的第一通道中。5.根据权利要求1至4中任一项所述的阀，其特征在于，第二通道将所述第一内腔(26)连接到大气。6.根据权利要求5所述的阀，其特征在于，第二三通阀(38)设置在所述第二通道中，所述第二通道连接到低压区域，并且特别地连接到所述第二壳体元件和/或所述外腔(16)。7.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：J，
申请(专利权)人：阿特拉斯，
类型：发明
国别省市：