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本发明提供了一种确定产品特征在衬底上的位置的方法，该方法包括：获得衬底上的一个或多个产品特征的多个位置测量结果，其中该测量结果被参考到用于在测量之间放置衬底的定位系统，或平行于衬底的表面的平面；并且，基于位置测量结果确定衬底的失真分量。位置...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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