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本实用新型公开了一种用于氧化镓外延的集气环以及具有该集气环的用于氧化镓外延的MOCVD设备，所述用于氧化镓外延的集气环包括环状本体，所述环状本体包括相对设置的第一端面、第二端面及位于第一端面和第二端面之间的内表面和外表面，所述第一端面、第二...
该专利属于江苏南大光电材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏南大光电材料股份有限公司授权不得商用。

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