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一种半导体结构,包含缓冲层、通道层、阻障层、掺杂化合物半导体层及组成渐变层。缓冲层设置于基底上,通道层设置于缓冲层上,阻障层设置于通道层上,掺杂化合物半导体层设置于阻障层上,且组成渐变层设置于阻障层与掺杂化合物半导体层之间,其中阻障层与组成...该专利属于世界先进积体电路股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过世界先进积体电路股份有限公司授权不得商用。
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一种半导体结构,包含缓冲层、通道层、阻障层、掺杂化合物半导体层及组成渐变层。缓冲层设置于基底上,通道层设置于缓冲层上,阻障层设置于通道层上,掺杂化合物半导体层设置于阻障层上,且组成渐变层设置于阻障层与掺杂化合物半导体层之间,其中阻障层与组成...