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一种半导体晶圆电镀夹持装置制造方法及图纸
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下载一种半导体晶圆电镀夹持装置的技术资料
文档序号:36062205
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本实用新型公开了一种半导体晶圆电镀夹持装置,包括夹持限位板,所述夹持限位板截面形状设为C形,所述夹持限位板内壁贯穿有限位螺杆,所述限位螺杆延伸至夹持限位板底部,所述限位螺杆底部固定连接有限位转柄,所述限位螺杆与夹持限位板连接处设置有第一轴承...
该专利属于上海芯莘科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海芯莘科技有限公司授权不得商用。
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