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本申请提供了一种晶圆缺陷诊断方法和诊断装置。该晶圆缺陷诊断方法先采集该工艺站点中各个生产机台生产的晶圆的缺陷信息，之后，获取该缺陷信息，并通过缺陷信息和各个机器手臂的特性信息，筛选出由机器手臂碰撞产生的碰撞缺陷；再之后，利用碰撞缺陷的缺陷信...
该专利属于锐立平芯微电子（广州）有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过锐立平芯微电子（广州）有限责任公司授权不得商用。

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