下载一种掩膜版上光学膜对中性测量装置的技术资料

文档序号:36060334

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本实用新型公开了一种掩膜版上光学膜对中性测量装置,以解决采用接触式测量方式时光学膜对中性测量结果可靠度不高且容易对光学膜造成破坏的技术问题,该测量装置包括定位框体和数显传感器;所述定位框体具有定位部,所述定位部具有相互垂直的第一定位面和第二...
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