下载晶体截断方法及晶体生长设备的技术资料

文档序号:36048485

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本发明提供一种晶体截断方法及晶体生长设备,晶体截断方法包括:利用截断单元挤压籽晶的外周壁,以在籽晶的外周壁上形成剪切缺口槽;驱动晶体连接单元带动籽晶与晶棒周向转动,并检测晶体连接单元的晃动量;在晶体连接单元的晃动量大于预设晃动幅度的情况下,...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

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