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本实用新型提出的吸盘装置,包括:吸盘主体、气路组件、真空抽取装置,吸盘主体包括上壳体和下壳体,上壳体上设有密集分布的吸附孔,上壳体和下壳体对接安装形成真空腔,真空腔包括主真空腔和至少一个副真空腔,下壳体上设置有至少一个隔断筋和至少一个通断挡...该专利属于源卓微电子装备(常德)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过源卓微电子装备(常德)有限公司授权不得商用。
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本实用新型提出的吸盘装置,包括:吸盘主体、气路组件、真空抽取装置,吸盘主体包括上壳体和下壳体,上壳体上设有密集分布的吸附孔,上壳体和下壳体对接安装形成真空腔,真空腔包括主真空腔和至少一个副真空腔,下壳体上设置有至少一个隔断筋和至少一个通断挡...