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本发明属于半导体技术领域，公开了一种晶圆自动去盖机构，其包括承载件、导向件与驱动件，承载件上设置有下真空载件，导向件竖直设置在承载件上，导向件上滑移设置有上真空载件，上真空载件位于下真空载件上方，驱动件被配置为驱动上真空载件滑移。实际运用中...
该专利属于苏州科韵激光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州科韵激光科技有限公司授权不得商用。

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