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本发明涉及一种ICP设备。ICP设备包括具有工件位与电感位的腔体以及排气筏板，排气筏板活动设置于腔体内，排气筏板内部设置供气通道，供气通道具有多个出气口；排气筏板可相对腔体平移，以改变排气筏板的各出气口与工件位、电感位之间的距离；排气筏板可...
该专利属于西实显示高新材料（沈阳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西实显示高新材料（沈阳）有限公司授权不得商用。

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