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本实用新型公开了一种晶圆清洗用甩干装置，包括安装底座，所述安装底座顶端安装有甩干平台，所述甩干平台上端转动连接有用于放置晶圆的旋转平台，所述旋转平台上端至少设置有两组夹持组件，所述夹持组件包括若干个夹持滑块，若干个所述夹持滑块位于旋转平台上...
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