温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种晶圆清洗用超声波清洗设备，涉及到晶圆清洗技术领域，包括清洗槽，所述清洗槽的底部安装有超声波发生器，所述清洗槽的清洗腔底部安装有与所述超声波发生器电性连接的超声波振板，所述清洗槽的左右端分别位于第一密罩体和第二密封罩的内腔...
该专利属于安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。