下载一种用于近常压扫描隧道显微镜的扫描头的技术资料

文档序号:36035216

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本发明涉及一种用于近常压扫描隧道显微镜的扫描头,属于近常压扫描隧道显微镜的技术领域。包括扫描管、固定限位环和扫描头主体;扫描头主体包括驱动马达、支架和中心步进杆:扫描头主体还包括压电马达、蓝宝石片、导轨、红宝石球和铍铜弹片;支架的材料为镍铁...
该专利属于中国科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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