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本实用新型公开了一种ALD加热炉，包括加热箱体，所述加热箱体下端前部和下端后部均安装有两个活动轮，后部所述两个活动轮之间共同安装有移动装置，所述加热箱体前端安装有柜门，所述柜门前端右部安装有把手，所述加热箱体右端中部安装有流量调节装置，所述...
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