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提供了一种固态成像装置，包括：半导体衬底；形成在半导体衬底中的光电转换部分；形成在半导体衬底上以便覆盖光电转换部分的栅绝缘膜；以及在垂直方向上传输在光电转换部分产生的电荷的多个传输栅电极，所述多个传输栅电极形成在栅绝缘膜上，并且用氧化硅膜来...
该专利属于松下电器产业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。

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