下载具有屏蔽栅极和多阶梯外延层结构的超级势垒整流器的技术资料

文档序号:36024714

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本发明公开了一种新型的屏蔽栅沟槽式(SGT)超级势垒整流器(SBR),其外延层具有特殊的多阶梯外延层(MSE)结构,所述MSE的掺杂浓度自衬底至外延层的上表面方向呈阶梯式递减,其中每个MSE都具有均匀的掺杂浓度。特殊的MSE结构显著降低了器...
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