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本发明公开了一种硅片用臭氧清洗方法及装置，包括如下步骤：首先在内槽体中配制好清洗溶液a，再将装有硅片的硅片放置篮浸入装有清洗溶液a中的内槽体中；接着将清洗溶液b注入到增压水泵，再从喷嘴高速喷射出去，喷射出的清洗溶液b和清洗溶液a因为压强差的...
该专利属于中节能太阳能科技（镇江）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中节能太阳能科技（镇江）有限公司授权不得商用。

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