下载接合装置和接合方法的技术资料

文档序号:36020162

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本发明提供一种接合装置和接合方法,接合装置包括一对加压部件(20)和多个供电部件(31、32),一对加压部件(20)以从多个被接合部件(101、102)的层叠方向上的两侧夹住多个被接合部件(101、102)的方式对置布置,且设置为能够对多个...
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