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本申请提供一种立式镀膜装置，涉及半导体制备技术领域，包括基座、镀膜机构以及转动设置于基座上的公转机构，在公转机构的周壁设置有载板，在载板上转动设置有用于放置平面基板的自转机构，公转机构的转动平面与自转机构的转动平面垂直，镀膜机构设置于基座且...
该专利属于浙江水晶光电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江水晶光电科技股份有限公司授权不得商用。

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