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本实用新型提供一种晶圆电镀挂具，包括主板体和后盖，主板体上设有开口，在主板体上设有包围所述开口的导电片单元，导电片单元包括至少4个弧形导电片，各个弧形导电片之间相隔离，每个弧形导电片上设置有多个触片，待电镀晶圆的圆周边部与各个触片导电接触；...
该专利属于上海戴丰科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海戴丰科技有限公司授权不得商用。

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