温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种半导体废气处理设备新型水汽分离装置，包括：装置本体，装置本体呈方形结构且两端分别设置有连接口，连接口处安装有法兰，装置本体的内壁两侧共安装有三个初次分离板，三个初次分离板倾斜设置且交替分布，装置本体的内部上端接近开口处安...
该专利属于上海高生集成电路设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海高生集成电路设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。