下载一种抗浪涌SiCMOSFET器件及其制造方法的技术资料

文档序号:35992034

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本发明提供了一种抗浪涌SiC MOSFET器件及其制造方法,属于半导体器件技术领域,该一种抗浪涌SiC MOSFET器件包括衬底,所述衬底的上表面自下而上依次具有外延层、P+源区、N+源区、钝化层和氧化硅,所述N+源区、所述P+源区和所述外...
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