下载光学对位方法及光学对位装置的技术资料

文档序号:35991843

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本申请实施例涉及光学对位技术领域,提供一种光学对位方法及光学对位装置。其中,光学对位方法包括将第一工件和第二工件间隔设置,其中所述第一工件包括第一偏光元件,所述第二工件包括第二偏光元件;获取激光依次经过所述第一工件和所述第二工件后的出射光束...
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