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本发明公开了一种超薄衬底的制备装置，涉及超薄衬底加工技术领域，其技术方案要点包括底座和承载板，所述承载板上固定连接有第一吸盘，将晶圆底衬放置在第一吸盘上，通过第一吸盘对晶圆底衬进行吸附固定；打磨块，所述打磨块活动连接在承载板的上方，打磨块与...
该专利属于江苏知微光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏知微光电科技有限公司授权不得商用。

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