本发明专利技术公开了一种超薄衬底的制备装置，涉及超薄衬底加工技术领域，其技术方案要点包括底座和承载板，所述承载板上固定连接有第一吸盘，将晶圆底衬放置在第一吸盘上，通过第一吸盘对晶圆底衬进行吸附固定；打磨块，所述打磨块活动连接在承载板的上方，打磨块与晶圆底衬接触后，打磨块转动实现对晶圆底衬进行打磨；装液箱，所述装液箱固定连接在底座的上方，所述装液箱内连通有喷液管，在打磨块对晶圆底衬进行打磨时，效果是实现对晶圆底衬上下表面进行冷却，使晶圆底衬的上下表面温度保持一致，防止晶圆底衬上表面温度不一样，影响晶圆底衬的性能，同时在晶圆底衬的上下表面都喷冷却液，提高了降温效果。提高了降温效果。提高了降温效果。
【技术实现步骤摘要】
一种超薄衬底的制备装置
[0001]本专利技术涉及超薄衬底加工
，更具体地说，它涉及一种超薄衬底的制备装置。
技术介绍
[0002]碳化硅单晶材料因其自身宽禁带、高热导率、高击穿电场及高抗辐射能力等特点，其制成的半导体器件能够满足对当今对高功率和强辐射器件的需求，是制备高温、高频、高功率和抗辐射器件的理想衬底材料，并在混合动力汽车、高压输电、LED照明和航天航空等领域崭露头角，而生长高质量的碳化硅晶体则是实现这些碳化硅基器件的优异性能的基础。
[0003]通常利用金刚石减薄砂轮随碳化硅衬底进行研磨，然而现有的超薄衬底的制备装置在对晶圆底衬进行打磨过程中，不能同步对晶圆底衬的上下表面进行降温处理，因此晶圆底衬的上下表面存在温差，因此在一定程度上影响晶圆底衬的性能。
技术实现思路
[0004]针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种超薄衬底的制备装置。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供了如下技术方案：
[0006]一种超薄衬底的制备装置，包括：
[0007]底座；
[0008]承载板，所述承载板上固定连接有第一吸盘，将晶圆底衬放置在第一吸盘上，通过第一吸盘对晶圆底衬进行吸附固定；
[0009]打磨块，所述打磨块活动连接在承载板的上方，打磨块与晶圆底衬接触后，打磨块转动实现对晶圆底衬进行打磨；
[0010]装液箱，所述装液箱固定连接在底座的上方，所述装液箱内连通有喷液管，在打磨块对晶圆底衬进行打磨时，装液箱内部的冷却液通过喷液管喷向晶圆底衬上表面，冷却液对晶圆底衬上表面进行降温处理；
[0011]其中，所述底座的内部固定连接有收集箱，所述收集箱的顶部开设有进液孔，所述收集箱的内部固定连接有隔板，所述隔板的进口处安装有单向阀，所述收集箱的内部移动连接有挤压板，所述承载板上固定连接有出液管，晶圆底衬上表面进行降温的冷却液通过进液孔、隔板上的进口流至收集箱内部，挤压板在收集箱内移动将收集箱内部的冷却液挤压至出液管，通过出液管喷向晶圆底衬的下表面，即对晶圆底衬下表面进行降温处理；
[0012]相变块，所述挤压板的侧壁上固定连接有锁紧框，所述相变块锁紧在锁紧框的内部，相变块对收集箱内部的冷却液进行降温处理。
[0013]优选地，所述底座的上表面固定连接有L形支板，所述L形支板上固定连接有第一气动伸缩杆，所述第一气动伸缩杆的移动端固定连接有第一驱动电机，所述第一驱动电机的驱动轴与打磨块固定连接。
[0014]优选地，所述底座上固定连接有支撑杆，所述支撑杆上固定连接有固定环，所述固定环的外侧壁固定连接有第二驱动电机，所述第二驱动电机的驱动轴穿过固定环的侧壁并与承载板固定连接，所述喷液管固定连接在固定环的内侧壁。
[0015]优选地，所述装液箱顶端的进液口处设置有堵液块。
[0016]优选地，所述喷液管与装液箱之间通过中间管连通，所述中间管上安装有第一控制阀。
[0017]优选地，所述底座上固定连接有第二气动伸缩杆，所述第二气动伸缩杆的移动端固定连接有T形板，所述T形板上固定连接有移动杆，所述移动杆的一端穿过底座的侧壁并固定连接有清洁板，所述清洁板的下表面与进液孔接触，所述底座开设有收集槽，所述收集槽位于进液孔的外周。
[0018]优选地，所述挤压板上固定连接有活动杆，所述活动杆的一端穿过底座的侧壁并与T形板固定连接。
[0019]优选地，所述收集箱连通有第一管，所述第一管与出液管之间通过第二管连通，所述第二管上安装有第二控制阀。
[0020]优选地，所述承载板上开设有进液空间，所述进液空间内密封移动连接有活移块，所述活移块上固定连接有顶起杆，所述顶起杆的上端穿过进液空间的侧壁并位于承载板的上方，所述进液空间与第一管之间通过第三管连通，所述第三管上安装有第三控制阀。
[0021]优选地，所述锁紧框的内侧壁固定连接有弹性锁紧垫，所述收集箱的侧壁上开设有换料孔，所述换料孔内密封移动连接有阻挡板，所述阻挡板上固定连接有相连杆，所述相连杆上固定连接有移块，所述移块上固定连接有弹簧，所述弹簧上固定连接有连接块，所述连接块固定连接在底座上；
[0022]所述底座上固定连接有第三气动伸缩杆，所述第三气动伸缩杆的移动端固定连接有换料板，所述换料板上固定连接有第二吸盘。
[0023]与现有技术相比，本专利技术具备以下有益效果：
[0024]本专利技术中，通过设置喷液管和出液管，因此在对晶圆底衬打磨过程中，实现了对晶圆底衬上下表面的降温处理，打开第一控制阀，使装液箱内部的冷却液通过中间管、喷液管流至晶圆底衬上表面，由于在打磨块对晶圆底衬上表面打磨的过程中将会产生热量，因此通过冷却液实现降温冷却，打开第二控制阀，在挤压板对收集箱内部的冷却液进行挤压时，使收集箱内部的冷却液通过第一管、第二管排至出液管，由于出液管的出液口朝向晶圆底衬的下表面，从而实现对晶圆底衬下表面的冷却作用，因此在打磨块对晶圆底衬打磨过程中，同时实现对晶圆底衬上下表面进行冷却，使晶圆底衬的上下表面温度保持一致，防止晶圆底衬上表面温度不一样，影响晶圆底衬的性能，同时在晶圆底衬的上下表面都喷冷却液，提高了降温效果。
附图说明
[0025]图1为本专利技术提出一种超薄衬底的制备装置的示意图；
[0026]图2为本专利技术提出一种超薄衬底的制备装置中固定环和承载板的连接示意图；
[0027]图3为本专利技术提出一种超薄衬底的制备装置中承载板的内部示意图；
[0028]图4为本专利技术提出一种超薄衬底的制备装置中底座的内部示意图；
[0029]图5为图4中A处的局部放大图；
[0030]图6为图4中B处的局部放大图。
[0031]1、底座；2、承载板；3、第一吸盘；4、装液箱；5、喷液管；6、收集箱；7、进液孔；8、隔板；9、单向阀；10、挤压板；11、出液管；12、相变块；13、锁紧框；14、L形支板；15、第一气动伸缩杆；16、第一驱动电机；17、支撑杆；18、固定环；19、第二驱动电机；20、堵液块；21、中间管；22、第一控制阀；23、第二气动伸缩杆；24、T形板；25、移动杆；26、清洁板；27、清洁板；28、活动杆；29、第一管；30、第二管；31、第二控制阀；32、进液空间；33、活移块；34、顶起杆；35、第三管；36、第三控制阀；37、弹性锁紧垫；38、换料孔；39、阻挡板；40、相连杆；41、移块；42、弹簧；43、连接块；44、第三气动伸缩杆；45、换料板；46、第二吸盘；47、打磨块。
具体实施方式
[0032]参照图1至图6，实施例一对本专利技术提出的一种超薄衬底的制备装置做进一步说明。
[0033]一种超薄衬底的制备装置，包括：
[0034]底座1；
[0035]承载板2，承载板2上固定连接有第一吸盘3，将晶圆底衬放置在第一吸盘3上，通过第一吸盘3对晶圆底衬进行吸附固定；
[0036]打磨块47，打磨块47活动连接在承载板2的上本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种超薄衬底的制备装置，其特征在于，包括：底座(1)；承载板(2)，所述承载板(2)上固定连接有第一吸盘(3)，将晶圆底衬放置在第一吸盘(3)上，通过第一吸盘(3)对晶圆底衬进行吸附固定；打磨块(47)，所述打磨块(47)活动连接在承载板(2)的上方，打磨块(47)与晶圆底衬接触后，打磨块(47)转动实现对晶圆底衬进行打磨；装液箱(4)，所述装液箱(4)固定连接在底座(1)的上方，所述装液箱(4)内连通有喷液管(5)，在打磨块(47)对晶圆底衬进行打磨时，装液箱(4)内部的冷却液通过喷液管(5)喷向晶圆底衬上表面，冷却液对晶圆底衬上表面进行降温处理；其中，所述底座(1)的内部固定连接有收集箱(6)，所述收集箱(6)的顶部开设有进液孔(7)，所述收集箱(6)的内部固定连接有隔板(8)，所述隔板(8)的进口处安装有单向阀(9)，所述收集箱(6)的内部移动连接有挤压板(10)，所述承载板(2)上固定连接有出液管(11)，晶圆底衬上表面进行降温的冷却液通过进液孔(7)、隔板(8)上的进口流至收集箱(6)内部，挤压板(10)在收集箱(6)内移动将收集箱(6)内部的冷却液挤压至出液管(11)，通过出液管(11)喷向晶圆底衬的下表面，即对晶圆底衬下表面进行降温处理；相变块(12)，所述挤压板(10)的侧壁上固定连接有锁紧框(13)，所述相变块(12)锁紧在锁紧框(13)的内部，相变块(12)对收集箱(6)内部的冷却液进行降温处理。2.根据权利要求1所述的一种超薄衬底的制备装置，其特征在于，所述底座(1)的上表面固定连接有L形支板(14)，所述L形支板(14)上固定连接有第一气动伸缩杆(15)，所述第一气动伸缩杆(15)的移动端固定连接有第一驱动电机(16)，所述第一驱动电机(16)的驱动轴与打磨块(47)固定连接。3.根据权利要求2所述的一种超薄衬底的制备装置，其特征在于，所述底座(1)上固定连接有支撑杆(17)，所述支撑杆(17)上固定连接有固定环(18)，所述固定环(18)的外侧壁固定连接有第二驱动电机(19)，所述第二驱动电机(19)的驱动轴穿过固定环(18)的侧壁并与承载板(2)固定连接，所述喷液管(5)固定连接在固定环(18)的内侧壁。4.根据权利要求3所述的一种超薄衬底的制备装置，其特征在于，所述装液箱(4)顶端的进液口处设置有堵液块(...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩勋，
申请(专利权)人：江苏知微光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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