温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种适用于碳化硅FAB厂的AOI的晶圆吸附装置及AOI设备，包括：吸附台面，在AOI设备的吸附台面上用于吸附晶圆的上表面开设多个PV孔，所述PV孔设置在吸附台面边缘处，在AOI设备上位于吸附台面的外边缘处设置多个用于升降晶圆的顶...
该专利属于淄博绿能芯创电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过淄博绿能芯创电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。