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掩模装置的制造装置、记录介质、掩模装置的制造方法以及掩模装置制造方法及图纸
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下载掩模装置的制造装置、记录介质、掩模装置的制造方法以及掩模装置的技术资料
文档序号:35981086
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本发明提供掩模装置的制造装置、记录介质、掩模装置的制造方法以及掩模装置。掩模装置可以具备:框架,其包含隔着开口在第1方向上对置的第1边和第2边、以及隔着开口在与第1方向交叉的第2方向上对置的第3边和第4边;和掩模,其包含固定于第1边和第2边...
该专利属于大日本印刷株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过大日本印刷株式会社授权不得商用。
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