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本实用新型公开了一种行星锅蒸镀用的硅片定位结构，包括：行星锅、定位环、压盖、压紧件，行星锅上开设有定位孔，定位环插设于定位孔中，定位环的上端设置有用于与行星锅接触的限位边，定位环还开设有放片孔，压盖插设于放片孔中，压盖朝向放片孔的表面设置有...
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