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本实用新型属于半导体清洗工艺技术领域，公开了一种带有晶圆旋转机构的BOE槽，一种带有晶圆旋转机构的BOE槽，包括外壳，外壳底部设有底座，底座上固定有用于带动晶圆转动的旋转机构，旋转机构内侧设有用于限位放置花篮的花篮支架，旋转机构包括设置在花...
该专利属于谷微半导体科技（江苏）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过谷微半导体科技（江苏）有限公司授权不得商用。

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