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本发明涉及一种高均匀石英砣的热处理方法及生产装置，包括酸洗高纯度合成石英砣，在石英砣两端均焊接石英靶棒，并将石英砣放置在石英筒的筒口；控制石英砣匀速的从石英筒的筒口经设定的第一低温区运动至设定的高温区，再进入设定的第二低温区内进行热处理；石...
该专利属于江苏亨芯石英科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏亨芯石英科技有限公司授权不得商用。

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