温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及芯片检测处理装备技术领域，公开了一种晶圆检测预对准系统，包括机架上设置的精密运动单元、光学检测单元、真空单元和驱控单元，所述真空单元对晶圆实现真空吸附，所述真空单元设置于精密运动单元上，所述光学检测单元位于精密运动单元一侧，驱控单...
该专利属于嘉兴景焱智能装备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴景焱智能装备技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。