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本发明公开了一种硅基粉体及其制备方法，涉及硅粉的制备技术领域，该方法具体为：在热丝CVD的腔体中通入含有硅烷的反应气体，控制气压≥5Pa，热丝通电升温至1000
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该专利属于江西汉可泛半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西汉可泛半导体技术有限公司授权不得商用。

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