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一种多段移动速度的直立式湿制程装置，用以运载一基板，并包括一移送机构与一载座，移送机构具有沿一移动方向成型的一中空机柜、以及一设于中空机柜内并沿移动方向配置的输送单元，且中空机柜依移动方向依序设有一前置段、一缓冲段与一后置段，而载座通过输送...
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