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一种用于光束强度调控的微纳光阑制造技术
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下载一种用于光束强度调控的微纳光阑的技术资料
文档序号:35875334
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本发明提供了一种用于光强调控的微纳光阑,所述光阑包括基底层和铬膜层,所述基底层表面刻蚀有若干微纳结构,所述铬膜层设于所述基底层上并置于所述基底层的四周;所述铬膜层所在的区域为挡光区域,所述微纳结构所在的区域为通光区域。本发明提供的微纳光阑,...
该专利属于南通智能感知研究院所有,仅供学习研究参考,未经过南通智能感知研究院授权不得商用。
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