下载一种可提高化铜沉积速率的沉铜装置的技术资料

文档序号:35861380

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本实用新型公开了一种可提高化铜沉积速率的沉铜装置,包括机箱,所述机箱一侧固定设有沉铜池,所述沉铜池底部对称固定设有万向轮,所述沉铜池内腔底部从左到右依次固定设有温度传感器、搅拌机构、电加热器,所述沉铜池前侧表面固定设有温控器,所述机箱内腔设...
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