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本公开实施例公开了一种光学探针及其制作方法、芯片测试方法，其中，所述光学探针包括：光纤阵列，包括至少一个光纤，所述光纤的第一端具有斜面；所述斜面用于将从所述光纤的第二端射入的光信号进行反射，反射的光信号从所述光纤的侧面射出；或者，用于将从所...
该专利属于武汉光谷信息光电子创新中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉光谷信息光电子创新中心有限公司授权不得商用。

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