下载一种晶圆保护涂层浸泡装置的技术资料

文档序号:35855307

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本实用新型公开了一种晶圆保护涂层浸泡装置,属于半导体清洗设备技术领域,包括钢结构框架,所述钢结构框架内设有浸泡箱体,所述钢结构框架上设有由行走动力机构驱动的行走框架,所述行走框架上安装有由卷扬动力机构驱动的升降提篮,所述升降提篮与所述浸泡箱...
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