下载一种半导体器件引脚尺寸检测方法、设备及存储介质的技术资料

文档序号:35854881

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本发明公开了一种半导体器件引脚尺寸检测方法、设备及存储介质,包括:采用高斯滤波及自适应阈值分割法对目标图像进行预处理;在目标图像预先设置的ROI区域内,根据目标边缘拟合得到基准直线;在每个引脚的ROI区域内根据引脚边缘均值拟合得到引脚顶点,...
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