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化学增幅型正型感光性树脂组合物、保护膜以及具有保护膜的元件制造技术
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文档序号:35849552
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本发明提供一种化学增幅型正型感光性树脂组合物、保护膜以及具有保护膜的元件。所述化学增幅型正型感光性树脂组合物的感度及显影密着性良好。化学增幅型正型感光性树脂组合物包括含酸解离性基的树脂(A)、光酸产生剂(B)、溶剂(C)、硅烷化合物(D)以...
该专利属于奇美实业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过奇美实业股份有限公司授权不得商用。
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