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一种热挤压法制备用于溅射法薄膜镀膜技术的铜靶，其中铜管靶的生产包括通过热挤压和冷拔塑形的铸造铜锭(纯度至少99.99％铜，氧气不超过5ppm)步骤。晶粒尺寸的控制基于动态再结晶机理。因此，控制热铜在挤压模具挤压时立即用水冷却。此技术称为水下...
该专利属于东方铜业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东方铜业有限公司授权不得商用。

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